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光化學(xué)反應(yīng)儀 光化學(xué)、干膜、曝光及顯影制程術(shù)語(yǔ)手冊(cè)
點(diǎn)擊次數(shù):507 更新時(shí)間:2023-07-26

光化學(xué)反應(yīng)儀主要用于研究氣相或液相介質(zhì)、固定或流動(dòng)體系、紫外光或模擬可見光照、以及反應(yīng)容器是否負(fù)載TiO2光催化劑等條件下的光化學(xué)反應(yīng)。具有提供分析反應(yīng)產(chǎn)物和自由基的樣品,測(cè)定反應(yīng)動(dòng)力學(xué)常數(shù),測(cè)定量子產(chǎn)率等功能,廣泛應(yīng)用化學(xué)合成、環(huán)境保護(hù)以及生命科學(xué)等研究領(lǐng)域
光化學(xué)、干膜、曝光及顯影制程術(shù)語(yǔ)手冊(cè)1、Absorption 領(lǐng)受,吸入
指被領(lǐng)受物會(huì)進(jìn)入主體的內(nèi)部,是一種化學(xué)式的吸入步履。如光化反映中的光能領(lǐng)受,或板材與綠漆對(duì)溶劑的吸入等。還有一近似詞 Adsorption 則是指吸附而言,只附著在主體的概略,是一種物理式的親和吸附。
2、Actinic Light(or Intensity,or Radiation) 有用光
指用以完成光化反映各類光線中,其Z有用波長(zhǎng)規(guī)模的光而言。例如在360~420 nm 波長(zhǎng)規(guī)模的光,對(duì)偶氮棕片、淺顯吵嘴底片及重鉻酸鹽感光膜等,其等反映均Z快Z且功用Z大,謂之有用光。
3、Acutance 解像尖銳度
是指各類由感光編制所取得的圖像,其線條邊緣的尖銳景象抽象 (Sharpness),此與解像度 Resolution 不合。后者是指在必定寬度距離中,可以了了的顯像(Develope)解出若干良多多少組“線對(duì)"而言(Line Pair,系指一條線路及一個(gè)空間的組合),普簡(jiǎn)易稱只說(shuō)解出機(jī)條“線"而已。
4、Adhesion Promotor 附出力增進(jìn)劑
多指干膜中所添加的某些化學(xué)品,能促使其與銅面發(fā)生“化學(xué)鍵",而增進(jìn)其與底材間之附出力者皆謂之。
5、Binder 粘結(jié)劑
各類積層板中的接著樹脂部份,或干膜之阻劑中,所添加用以“成形"而不致太“散"的接著及組成劑類。
6、Blur Edge(Circle)恍惚邊帶,恍惚邊圈
多層板各內(nèi)層孔環(huán)與孔位之間在做瞄準(zhǔn)度搜檢時(shí),可把持 X光透視法為之。由于X光之光源與其機(jī)組均非平行光之機(jī)關(guān),故所得圓墊(Pad)之減少回憶,其邊緣之解像其實(shí)不明銳了了,稱為 Blur Edge。
7、Break Point 出像點(diǎn),顯像點(diǎn)
指制程中已有干膜貼附的“在制板",于自動(dòng)保送線顯像室上下噴液中遏制顯像時(shí),抵達(dá)其完成沖洗而閃現(xiàn)出了了圖形的“旅程點(diǎn)",謂之“Break Point"。所經(jīng)歷過(guò)的沖洗旅程,以占顯像室長(zhǎng)度的 50~75% 之間為好,如斯可以使剩下旅途中的清水沖洗,更能增強(qiáng)斷根殘膜的成果。
8、Carbon Arc Lamp 碳弧燈
晚期電路板底片的翻制或版膜的分娩時(shí),為其曝光所用的光源之一,是在中心迫近的碳精棒之間,施加高電壓而發(fā)生弧光的拆卸。
9、Clean Room 無(wú)塵室、潔凈室
是一個(gè)遭到賣力經(jīng)管及精采把握的房間,其溫度、濕度、壓力都可加以調(diào)劑,且氣氛中的塵埃及臭氣已予以消弭,為半導(dǎo)體及細(xì)線電路板分娩制造必需的景象抽象。淺顯“潔凈度"的表達(dá),是以每“立方呎"的氣氛中,含有大于0.5μm以上的塵粒數(shù)目,做為分級(jí)的尺度,又為儉仆成本起見,常只在使命臺(tái)面上設(shè)置部門無(wú)塵的景象抽象,以嘗試必需的使命,稱 Clean Benches。
10、Collimated Light 平行光
以感光法遏制回憶轉(zhuǎn)移時(shí),為添加底片與板面間,在圖案上的變形走樣起見,應(yīng)采納平行光遏制曝光制程。這類平行光是經(jīng)由屢次反射折射,而取得低熱量且近似平行的光源,稱為Collimated Light,為細(xì)線路建筑必需的裝備。由于垂直于板面的平行光,對(duì)板面或景象抽象中的少許塵埃都很是緩慢,常會(huì)忠誠(chéng)的暗示在所曬出的回憶上,構(gòu)成許多額定的漏洞錯(cuò)誤,反不如淺顯散射或漫射光源可以也許自彼此補(bǔ)而消彌,故采納平行光時(shí),必需還要無(wú)塵室的合營(yíng)才行。此時(shí)底片與待曝光的板面之間,已無(wú)需再做抽真空的密接(Close Contact),而可間接使用較嚴(yán)重的 Soft Contact或Off Contact了。
11、Conformity吻合性,服貼性
完成零件壞配的板子, 為使整片板子外形遭到賣力的呵護(hù)起見,再以絕緣性的涂料予以封護(hù)涂裝,使有更好的信賴性。淺顯或較高條理的拆卸板,才會(huì)用到這類外形貼護(hù)層。
12、Declination Angle 斜射角
由光源所間接射下的光線,或經(jīng)各類折射反射過(guò)程后,再行射下的光線中,凡閃現(xiàn)不垂直射在受光面上,而與“垂直法線"呈某一斜角者(即圖中之 a角)該斜角即稱 Declination Angle。當(dāng)此斜光打在干膜阻劑邊緣所組成的“小孔相機(jī)"并經(jīng) Mylar 折光下,會(huì)泛起另外一“平行光"之半角(Collimation HalfAngle,CHA)。但凡“細(xì)線路"曝光所邃密精彩的“高平行度"的曝光機(jī)時(shí),其所呈的“斜射角"應(yīng)小于 1.5 度,其“平行半角"也須小于 1.5 度。
13、Definition 邊緣傳神度
在以感光法或印刷法遏制圖形或回憶轉(zhuǎn)移時(shí),所取得的下一代圖案,其線路或各導(dǎo)體的邊緣,是不是能泛起齊直而又忠于原底片之外形,稱為“邊緣齊直性"或傳神度“Definition"。
14、Densitomer 透光度計(jì)
是一種對(duì)吵嘴底片之透光度(Dmin)或遮光度(Dmax)遏制丈量之儀器,以搜檢該底片之劣化水平若何。其經(jīng)常使用的品牌如 X-Rite 369 等于。
15、Developer 顯像液,顯影液,顯像機(jī)
用以沖洗掉未感光聚合的膜層,而留下已感光聚合的阻劑層圖案,其所用的化學(xué)品溶液稱為顯像液,如干膜制程所用的碳酸鈉(1%)溶液等于。
16、Developing 顯像,顯影
是指感光回憶轉(zhuǎn)移過(guò)程中,由母片翻制子片時(shí)稱為顯影。但對(duì)下一代像片或干膜圖案的閃現(xiàn)作業(yè),則應(yīng)稱為“顯像"。既然是由底片上的“影"轉(zhuǎn)移成為板面的“像",雖然就該當(dāng)稱為“顯像",而不宜再續(xù)稱底片階段的“顯影",這是淺而易見的事理??墒菢I(yè)界積非成是習(xí)用已久,一時(shí)興不茍且更正。日文則稱此為“現(xiàn)像"。
17、Diazo Film 偶氮棕片
是一種有棕色阻光膜的底片,為干膜回憶轉(zhuǎn)移時(shí),在紫外光中公用的曝光用具(Phototool)。這類偶氮片即使在棕色的遮光區(qū),也能在“可見光"中透視現(xiàn)實(shí)片下的板面景象抽象,比吵嘴底片要便當(dāng)?shù)亩唷?/span>
18、Dry Film 干膜
是一種做為電路板回憶轉(zhuǎn)移用的干性感光薄膜阻劑,還有 PE 及 PET 兩層皮膜將之夾心呵護(hù)?,F(xiàn)場(chǎng)施工時(shí)可將 PE 的隔離層撕掉,讓中心的感光阻劑膜壓貼在板子的銅面上,在經(jīng)由底片感光后即可再撕掉 PET 的表護(hù)膜,遏制沖洗顯像而組成線路圖形的部門阻劑,進(jìn)而可再嘗試蝕刻(內(nèi)層)或電鍍(外層)制程,Z初在蝕銅及剝膜后,即取得有裸銅線路的板面。

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